此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清理。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)比較好濕度范圍為35—45%。氣壓規(guī)定：對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個新風(fēng)量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。凈化工程通常包含多個步驟，從污染源識別、污染物質(zhì)分析。福建定制凈化工程分類
醫(yī)院應(yīng)用潔凈環(huán)境的潔凈手術(shù)室，是用空氣潔凈技術(shù)取代傳統(tǒng)的紫外線等手段對全過程實行污染控制的現(xiàn)代手術(shù)室。在潔凈手術(shù)室內(nèi)，患者率可降低10倍以上，從而可以少用或不用會傷害患者免疫系統(tǒng)的。既要無塵又要無菌是潔凈手術(shù)室的特點。醫(yī)院潔凈室包括手術(shù)室、產(chǎn)科、嬰幼兒病房、ICU(重癥監(jiān)護(hù)室)、燒傷病房及解剖室、凈化實驗室、人工透析室、標(biāo)本室等，其工程質(zhì)量與醫(yī)療質(zhì)量有著直接而重要的關(guān)系。如對某醫(yī)院潔凈室做含塵濃度檢測時，突然發(fā)現(xiàn)塵濃普遍急劇上升，超標(biāo)嚴(yán)重。工程人員首先想到的是過濾器風(fēng)口漏，經(jīng)檢查，雖然發(fā)現(xiàn)確實有漏，但和檢測出的塵濃數(shù)量不相當(dāng)。根據(jù)經(jīng)驗判斷，這是新風(fēng)口設(shè)計不當(dāng)，由于設(shè)在5層樓頂上向下的新風(fēng)口，其下方正好有一垃圾站，而該垃圾站有定期燒垃圾的習(xí)慣，大量濃塵正是來自新風(fēng)口下方冒出的濃煙。江西凈化工程定做價格功能則體現(xiàn)在對空氣、水質(zhì)等環(huán)境因素的持續(xù)監(jiān)測與調(diào)控。
例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。
單向流潔凈室一般有兩種類型，即水平流和垂直流。在水平流系統(tǒng)中，氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統(tǒng)中，氣流是從吊頂流向地面。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合，就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況：氣流以一個方向流動（或是垂直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的均速流過整個空間。由滿布潔凈室吊頂?shù)母咝н^濾器向室內(nèi)送風(fēng)。氣流有如一個空氣活塞，向向下的方向流經(jīng)室內(nèi)，帶走污染物，然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后，再循環(huán)至高效過濾器！降低生產(chǎn)過程中的污染風(fēng)險，從而提高企業(yè)的綜合效益。
潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易；B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。潔凈管道(CleanTube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為較適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用?？梢愿鶕?jù)企業(yè)的實際需求進(jìn)行調(diào)整和優(yōu)化。中國臺灣電子廠凈化工程分類
能夠為客戶提供多樣化的凈化工程選擇，并根據(jù)客戶的具體情況制定合適的方案。福建定制凈化工程分類
潔凈室中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度。福建定制凈化工程分類